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產(chǎn)品中心
1200℃ PECVD管式爐系統(tǒng)1200℃ PECVD管式爐系統(tǒng)1200℃ PECVD管式爐系統(tǒng)
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1200℃ PECVD管式爐系統(tǒng)

產(chǎn)品型號:STGP-80-12

爐膛尺寸:Φ80x1200mm

額定溫度:1200℃

控溫精度:±1℃

應(yīng)用領(lǐng)域:PECVD系統(tǒng)(等離子增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng))由管式爐、真空獲得、流量控制和射頻電源四大模塊組成, 本設(shè)備借助13.56Mhz的射頻輸出使含有薄膜組成原子的氣體電離,在真空腔體內(nèi)形成等離子體,利用等離子的強化學(xué)活性,改善反應(yīng)條件,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù),得到基片上沉積出所期望的薄膜,適用于1200℃條件下進(jìn)行SiO2、SiNx薄膜的沉積。

全國咨詢熱線 18637977060

產(chǎn)品特點

1、CVD管式爐系統(tǒng)由管式爐、真空獲得、流量控制和射頻電源

2、管式爐可選擇不同的管徑和恒溫區(qū)的長度,爐管兩端裝有高真空不銹鋼密封法蘭;

3、真空獲得系統(tǒng)可根據(jù)試驗要求選擇不同的真空泵,旋片式機械真空泵真空度≤5pa,分子泵真空機組真空度1×10-4pa;

4、氣路供氣系統(tǒng)可選擇3路浮子手動和3路自動質(zhì)量流量系統(tǒng)

5、真空測量為數(shù)字復(fù)合真空機或皮拉尼真空計

6、等離子體放電選擇13.56Mhz的設(shè)備電源,功率輸出可選擇200W、300W和500W

7、管式爐可選擇單溫區(qū)440mm,也可選擇三溫區(qū)或多溫區(qū)進(jìn)行溫度的梯度試驗

8、溫控器內(nèi)置的RS485數(shù)字通信端口和USB適配器作為可選配置,可連接PC,用于系統(tǒng)的遠(yuǎn)程控制和監(jiān)視,還可以保存或?qū)С鰷y試結(jié)果。

9、產(chǎn)品符合歐盟CE標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品參數(shù)

型號

STGP-40-12

STGP-60-12

STGP-80-12

STGP-100-12

爐管尺寸

Φ40 x 1200mm

Φ60 x 1200mm

Φ80 x1200mm

Φ100 x 1200mm

額定溫度

1200℃

工作溫度

1100℃

加熱區(qū)尺寸

440mm

電源電壓

220V/1.8KW

220V/2.6KW

220V/2.6KW

220V/2.6KW

加熱元件

HRE鐵鉻鋁合金電阻絲

爐膛材料

濕法真空抽濾成型制備的多晶無機氧化鋁陶瓷纖維材料

爐管材料

石英管

控溫精度

±1℃

測溫元件

N型熱電偶

溫控儀表

智能微電腦PID溫控儀表,SCR/SSR控制,PID參數(shù)自整定功能;可編程序4組8個程序段,程序升溫、程序保溫、程序降溫

升溫速度

1-25℃/min自由調(diào)節(jié)

爐體結(jié)構(gòu)

爐膛溫控一體式結(jié)構(gòu),爐膛開合式;雙層外殼,空氣循環(huán)隔熱

密封性能

爐管兩端裝有不銹鋼金屬法蘭,配套高溫 PTFE 墊圈,可在真空下進(jìn)行工作, 真空度≤5pa(旋片式真空泵)

射頻電源

頻率:13.56 MHz±0.005%,功率:5W-500W,功率穩(wěn)定性 :±0.5%

氣體控制

可選擇3路浮子手動流量計,量程60-600ml /min;3路自動質(zhì)量流量計,量程1-500sccm

氣氛性能

法蘭兩端有進(jìn)氣口和出氣口,壓力表裝在金屬法蘭上,精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣和出氣量,可通入氮氣、氬氣、氫氣等保護(hù)氣體

氣路接口

KF25真空擋板閥和KF25不銹鋼波紋管連接真空泵;保護(hù)氣氛6mm不銹鋼卡套接頭和PTFE管路

設(shè)備保護(hù)

模塊化控制,對工作過程中的超溫、斷偶會發(fā)出聲光報警信號,并自動完成保護(hù)動作

人員保護(hù)

在設(shè)備上裝有空開斷路器,如發(fā)生短路漏電情況時會自動彈開,能保護(hù)設(shè)備和操作人員

外殼

優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板數(shù)控機床下料加工,經(jīng)過焊接、打磨、拋光、磷化、酸洗、表面靜電噴涂塑粉

質(zhì)量認(rèn)證

ISO9001 ??CE ???SGS

服務(wù)保障

1 產(chǎn)品質(zhì)量承諾:

1、產(chǎn)品的制造和檢測嚴(yán)格按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行,并有質(zhì)量記錄可査;每臺設(shè)備都有唯一的制造編號,并建立用戶檔案。

2、所有產(chǎn)品均可通過權(quán)威的第三方檢測機構(gòu)檢測;也可委托我方代為辦理,費用另計。

3、交貨期承諾: 按合同約定執(zhí)行;如有特殊原因需提前交貨的,我公司在條件允許的情況下特別組織生產(chǎn),力爭滿足用戶需求。

2 產(chǎn)品質(zhì)量承諾:

1、產(chǎn)品的制造和檢測嚴(yán)格按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行,并有質(zhì)量記錄可査;每臺設(shè)備都有唯一的制造編號,并建立用戶檔案。

2、所有產(chǎn)品均可通過權(quán)威的第三方檢測機構(gòu)檢測;也可委托我方代為辦理,費用另計。

3、交貨期承諾: 按合同約定執(zhí)行;如有特殊原因需提前交貨的,我公司在條件允許的情況下特別組織生產(chǎn),力爭滿足用戶需求。

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